单晶硅片表面磷酸基硅烷-碳纳米管复合薄膜的制备方法

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本发明涉及一种单晶硅片表面磷酸基硅烷-碳纳米管复合薄膜的制备方 法，首先将单晶硅片浸泡在王水中，经加热、自然冷却处理后取出，用去离子 水反复冲洗后干燥，再浸入配制好的氨基硅烷溶液中，在基片表面组装氨基硅 烷薄膜，然后再置入含有三氯氧化磷和2，3，5-三甲基吡啶的氰化甲烷溶液中， 在薄膜表面组装上磷酸基团，再将基片置入经稀土改性后的碳纳米管悬浮液， 在30～90℃静置2～24小时，取出用大量去离子水冲洗，冲洗后用氮气吹干， 这样就得到表面沉积有改性碳纳米管复合薄膜的单晶硅片。本发明工艺简单， 成本低，对环境无污染，制得的碳纳米管复合薄膜具有十分明显的减摩作用， 具有良好的抗磨损性能。