用于电致发光无机发光材料的喷镀沉积方法

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本发明是一种用于薄膜无机发光材料的新的喷镀沉积方法，该无 机发光材料可为电视应用提供所需的高亮度和颜色。本方法是一种双 源喷镀方法，用于将薄膜无机发光材料组合物沉积至基底上，该方法 包括：提供金属作为第一个源；提供含硫化合物作为第二个源；将所 述第一个或第二个源掺以稀土活化剂；在含硫气体中施加足够的电流 至第一个和第二个源，以实现第一个和第二个目标的喷镀，并且把无 机发光材料组合物沉积在基底上。