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本发明涉及离子加速器技术和低能多电荷态离子束的技术领域,特别是涉及一种产生多电荷态离子束的方法和用于该方法的装置,该方法是在工作物质与固态电解质薄膜界面,通过氧化还原反应,碱土金属或稀土金属元素转化成二价或三价离子,然后通过固态电解质中的快速离子传输通道输送到阳极,又通过场致蒸发离开阳极进入真空,最后在外加电场作用下加速、引出,形成离子束。本装置主要包括可移动的发射器组件和真空系统,该发射器组件依次由高电导和热导的金属阴极、工作物质薄膜、固态电解质薄膜、多孔导电阳极和欧姆加热器组成。本发明产生的多电荷态离子束具有很小的空间发射和能量分布,提高了离子源的效率,节约了空间和成本。