氧化铈系研磨材料、其制造方法及用途

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本发明提供一种氧化铈系研磨剂，该氧化铈系研磨剂能够以廉价的工序安全且容易地制造出划痕少，表面粗糙度小且精度高的抛光面。 另外，本发明提供铈系研磨剂的制造方法。 该制造方法包括(a)向含铈轻稀土盐的水溶液中加入沉淀剂以沉淀轻稀土盐， 从而得到含有轻稀土盐颗粒的第一浆料；(b)向含有轻稀土盐颗粒的浆料中加入氟化剂，使轻稀土盐与氟化剂反应， 由此获得包含LiGBT稀土氟化物颗粒的第二浆料；(c)混合第一浆料和第二浆料以获得混合浆料；(d)干燥和焙烧混合浆料。 本发明的铈基磨料由该制造方法制造。