铝-镍-稀土类元素合金溅镀靶

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本发明系提供一种制造时以及使用时产生的扭曲(变形)较小、标靶精度可以良好且有效率的制造、而且可进行安定的成膜作业之铝–镍–稀土类元素合金溅镀靶。该铝–镍–稀土类元素合金溅镀靶，系含有镍与1或2个以上稀土类元素之铝基合金溅镀靶，其特徵为以2000倍以上的倍率观察垂直於该溅镀靶平面的剖面时，长径比为2.5以上的相当於圆直径0.2μm以上的化合物存在5.0×10^4个／mm^2以上。