聚合物基波导装置及其制造方法

文件类型：PDF文档
文件大小：981K
一种用作光放大器或雷射波导之聚合物基波导装置，其包括一基体、一覆盖於基体上之聚合物内覆层、安置於该聚合物内覆层上之信道波导及一覆盖於聚合物内覆层上且包覆该信道波导之聚合物外覆层，该信道波导由至少一种可激化产生雷射之稀土金属离子掺杂复合物制成。该波导装置之制造方法包括：制备一基体；於基体上涂敷一聚合物内覆层，并乾燥硬化之；於该聚合物内覆层表面涂敷溶解有稀土金属离子掺杂复合物之第二聚合物，并进行选择性硬化及蚀刻，而形成信道波导；於聚合物内覆层及信道波导外涂布一聚合物外覆层，并乾燥硬化之。该波导装置具有良好之光放大功能及传输功能。