Bi类电介质薄膜形成用涂布液以及Bi类电介质薄膜

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本发明公开了一种涂布液，是含有式{Bi4－x、(Laz、B1－z)x}n(Ti3－y、Ay)O12+α(式中，A表示Ge等金属元素，B表示除了镧以外的稀土元素、Ca、Sr等金属元素，0≤x＜4、0≤y≤0.3、0＜z≤1，n＝0.7～1.4，α为由金属组成比决定的数值)所表示的复合金属氧化物的、常介电性或者强介电性的Bi类电介质薄膜形成用涂布液，其特征为，含有至少由Bi、Ti 2种金属醇盐形成的复合金属醇盐，该涂布液优选为用水、或水和催化剂进行水解·部分缩合处理而得到的溶胶－凝胶液，并且优选在其中配合链烷醇胺。通过本发明可提供一种能够根据半导体存储器的用途，用于形成常介电性或者强介电性Bi类电介质薄膜的涂布液。