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稀土类金属络合物、薄膜形成用原料和薄膜的制造方法

2026-04-06 21:143530下载
文件类型：PDF文档
文件大小：932K
本发明的稀土类金属络合物是以下述通式(I)表 示的稀土类金属的三仲丁基环戊二烯基络合物，其在耐热性和 挥发性方面优异，是适用于薄膜形成用原料的液态稀土类金属 络合物，式中，M表示稀土类金属原子。


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