由钛和钛氧化物和低氧化物物理气相沉积的能量转换和储存膜和器件

文件类型：PDF文档
文件大小：1802K
通过脉冲DC偏压反应溅射法从含钛靶沉积高密 度氧化膜，以形成高质量含钛氧化膜。根据本发明形成钛基层 或膜的方法包括通过脉冲DC偏压反应溅射法在衬底沉积含钛 氧化物层。在一些实施方案中，所述层是 TiO2。在一些实施方案中，所述 层是钛低氧化物。在一些实施方案中，所述层是 TixOy，其中x在约1和约4之间，并且y在约1和约7之间。 在一些实施方案中，可以将所述层掺杂一种或多种稀土离子。 这样的层可用于能量和电荷储存以及能量转换技术。