抛光组合物和抛光方法

文件类型：PDF文档
文件大小：397K
抛光浆包括(按重量百分数计)：0.1-50金属含氧酸促进剂，0.5-50氧化铈磨蚀颗粒，其余为水。金属含氧酸促进剂中的金属选自铬、镧、原子序数为59-71的稀土金属、锰、钼、铌、锇、铼、钌、钛、钨、钒、钇和锆。