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本发明提供一种含有稀土氟化物和/或稀土酰氟化物的喷涂层， 其中碳含量为0.01-2质量%或钛或钼含量为1-1000ppm， 其中， 在其中不含酰氟的情况下， 喷涂层为灰白色至黑色， 就L*a*b*色度而言， L*为25-64， a*为-3.0至+5.0， 且b*为-4.0至+8.0， 以及， 在其中含有酰氟的情况下， 喷涂层为白色或灰白色至黑色，其中以L*a*b*色度计，L*等于或大于25且小于91，a*为-3.0-+5.0，b*为-6.0-+8.0。 通过在耐等离子体部件上形成该涂层， 减少了部分颜色变化，消除了所述部件在被移除和清洗时以导致其部分劣化的方式被清洗的情况，因此，获得了能够可靠地实现其初始寿命的部件。