多层膜结构的薄膜气体吸收元件及其制造和使用方法

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一种多层膜结构的薄膜气体吸收元件及其制造 方法和使用方法。该气体吸收元件，是在陶瓷支撑体上沉积一 层气体吸收层，在气体吸收层上覆盖一层催化层，陶瓷支撑体 内部含 有加热层，气体吸收层的组成包括有Ti、Zr、V、La、Y、Ce、 Nd、Nb、Hf和Fe中的至少两种材料，催化层为催化金属的合 金薄膜，其含有Pd，和Ag、Ni、Cr、Cu和Al中的至少一种， 以及La、Y、Ce和Nb中的一种稀土元素或它们的混合物，其 中，La、Y可以是单质或是其氧化物。陶瓷支撑体为烧结后陶 瓷多孔支撑体，其比表面积大于 1m2/g。催化层的上面设有多孔气 体透过网，在该吸收元件的外周设有封装外壳。采用烧结方法 制备陶瓷多孔支撑体；采用共蒸发方法沉积形成气体吸收层薄 膜；采用共溅射沉积法使气体吸收层薄膜上覆盖催化层合金薄 膜。该气体吸收元件能够在低温激活，是性能稳定的微型吸气 剂元件。