铈类研磨材料浆剂及其制造方法

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本发明是含有相当于全稀土类氧化物(TREO)95重量％以上的铈类研磨材料粒子的铈类研磨材料浆剂。上述铈类研磨材料粒子中，对应于TREO的氟含量不到3重量％，利用激光衍射法测得的粒径分布在规定范围内。另外，将对应于TREO的氟含量定为0.005—0.5重量％可改善附着性。