氧化物固溶体粉末

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本发明提供可用作研磨材料、并且在用作研磨材 料时能够获得高研磨面精度的被研磨面的主成分为铈氧化物 的氧化物固溶体粉末。采用以氧化铈为主成分的稀土类氧化物 中固溶有钙氧化物的氧化物固溶体研磨玻璃基板等玻璃材料 时，能够获得高研磨面精度的被研磨面，非常适合用作研磨材 料。使钙元素固溶于以氧化铈为主成分的稀土类氧化物中，能 够提高化学研磨力，并能够得到更高的研磨面精度。