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掺杂稀土元素的Ⅲ族氮化物单晶及其制备方法和应用

2025-06-21 16:362740下载
文件类型:PDF文档
文件大小:340K
本发明公开了一种掺杂稀土元素的III族氮化物单晶及其制备方法和应用。所述制备方法包括:掺杂稀土元素的III族氮化物多晶、III族氮化物籽晶在超临界态的氨中,以及400~750℃、150MPa~600Mpa的条件下获得所述掺杂稀土元素的III族氮化物单晶。本发明提供的方法使用高纯的掺杂多晶为原料,在矿化剂的作用下多晶原料溶解后,掺杂稀土元素与氨基及B、Al,Ga,In等III族元素形成络合物,由于存在不同温区,不同温区的饱和浓度不同,在浓度梯度的驱动下络合物输运到籽晶处析出结晶,所述氨热法的生长条件为近热力学平衡,晶体生长界面与溶液处的温度梯度接近于零,生长过程中不易产生裂纹,且可以生长出位错密度较低的体单晶。


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