光波导

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披露了一种具有光学密封层的光波导。“光学密 封层”是指在光波导器件中与芯层和包覆层不同的层，它的折 射率比包覆层的折射率低并且具有图案，从而在波导中对光进 行侧向引导；“侧向”方向是指在光学密封层平面的方向上。 该波导具有下包覆层、芯层、与芯层贴近的有图案的光学密封 层、任意的上包覆层和任意的基底。光学密封层可以包含如 MgF2、LiF或任何其它低折射率 的材料。芯层可以包含用如铝、钛、钽、锆、锗、铪或磷掺杂 的高折射率的二氧化硅。或者，芯层可以包含氧氮化硅(SiON) 或氮化硅 (Si3N4)。包覆层可以包含二氧化硅。例如，下包覆层可以包含用 硼或氟掺杂的低折射率的二氧化硅。基底可以包含硅或二氧化 硅。或者，包覆层和芯层可以分别包含聚合物。在某些实施方 案中，波导可以包括用稀土元素如铒掺杂的层。光学密封层的 位置可以变化，只要它贴近芯层就可。例如，光学密封层可以 在下包覆层和芯层之间，在上包覆层和芯层之间，嵌入芯层内， 嵌入上包覆层内，或嵌入下包覆层内。