用于电致发光荧光体的喷镀沉积方法

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本发明是一种用于薄膜荧光体的新的喷镀沉积 方法，该荧光体可为电视应用提供所需的高亮度和颜色。本方 法是一种双源喷镀方法，用于将薄膜荧光体组分沉积至基底 上，该方法包括：提供金属作为第一个源；提供含硫化合物作 为第二个源；将所述第一个或第二个源掺以稀土活化剂；在含 硫气体中施加足够的电流至第一个和第二个源，以实现第一个 和第二个目标的喷镀，并且把荧光体组分沉积在基底上。