氮化硅粉、其烧结体、基板、及由此的电路板和热电元件模块

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本文涉及氮化硅粉、其烧结体、基板以及含该基板的电路板和热元件模块。含有Mg和从La、Y、Gd以及Yb组成的一组中选择的至少一种稀土类元素，在将Mg换算为MgO，将稀土类元素换算为稀土类氧化物(RExOy)时，上述元素的氧化物换算含量的总计为0.6～7重量％的氮化硅烧结体。氮化硅烧结体是把β比率为30～100％、含氧量小于0.5重量％、平均粒径为0.2～10μm、长宽比小于10的第1氮化硅粉末1～50重量分和平均粒径为0.2～4μm的α型第2氮化硅粉末99～50重量分，在1, 800℃以上的温度以及5个大气压以上压力的氮气氛中烧结制造的。