铈系研磨材料及其原料

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本发明提供一种铈系研磨剂，其具有优异的研磨性能，例如较少产生划痕，并且能够实现较高的研磨速度。 铈系研磨剂至少含有氧化铈(CeO2)，氧化镧(La2O3)和氧化钕(Nd2O3)作为稀土氧化物，并且还含有氟(F)。 在研磨剂中， 总稀土氧化物(TREO)应为90wt%以上，氧化铈与TREO(Nd2O3/TREO)的重量比应为50～65wt%，氧化钕与TREO(Nd2O3/TREO)的重量比应为10～16wt%。 这样制备的铈基磨料能够迅速提供几乎不容易受到划痕的抛光表面。