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紫外线反射膜和溅射靶 发明申请

2023-07-15 4610 516K 0

专利信息

申请日期 2025-08-16 申请号 CN201680069937.1
公开(公告)号 CN108431291A 公开(公告)日 2018-08-21
公开国别 CN 申请人省市代码 全国
申请人 株式会社钢臂功科研
简介 提供一种通过将构成紫外线反射膜的稀土类元素、Cu和其余的Al的量、以及稀土类元素与Cu的比率控制在规定的范围,从而波长254nm的紫外线的反射率为85%以上的紫外线反射膜。一种紫外线反射膜,其含有一种或两种以上的稀土类元素:0.2at%以上且3.0at%以下,和Cu:0.2at%以上且6.0at%以下中的任意一者,余量由Al和不可避免的杂质构成,满足下述(1)式,波长254nm的紫外线的反射率为85%以上。X+0.5Y<3.5…(1)[X是稀土类元素的量[at%],Y是Cu的量[at%]。]。


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