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一种稀土三氟化物LnF3薄膜及其制备方法 发明授权

2023-12-22 3021 2031K 0

专利信息

申请日期 2025-06-24 申请号 CN201910854690.X
公开(公告)号 CN110699728B 公开(公告)日 2022-02-18
公开国别 CN 申请人省市代码 全国
申请人 桂林理工大学
简介 本发明公开了一种稀土三氟化物LnF3薄膜及其制备方法,包括以下步骤:以稀土硝酸盐的水溶液作为电沉积溶液,采用脉冲电压沉积法制备得到稀土层状氢氧化物薄膜;将氟化物溶解获得溶液,调节pH值;将所述稀土层状氢氧化物薄膜浸没于所述氟化物溶液中,进行置换反应,得到稀土三氟化物薄膜。本发明提供的制备方法反应条件温和、操作简单,制备得到的稀土三氟化物薄膜平整且均匀,薄膜附着度高,结晶性好。


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