| 申请日期 | 2025-07-17 | 申请号 | TW106103899 |
| 公开（公告）号 | TWI632125B | 公开（公告）日 | 2018-08-11 |
| 公开国别 | TW | 申请人省市代码 | 全国 |
| 申请人 | 应用材料股份有限公司 | ||
| 简介 | 一种固体烧结陶瓷制品可包括含有浓度为约30mol%至约60mol%的Y2O3的固溶体， Er2O3的浓度为约20mol%至约60mol%，ZrO2，Gd2O3或SiO2中的至少一种的浓度为约0mol%至约30mol%。 或者，固体烧结陶瓷制品是包含40-100mol%Y2O3，0-50mol%ZrO2和0-40mol%Al2O3的固溶体。 | ||
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