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一种钨钛酸铋铁电薄膜的制备方法 发明授权

2023-02-26 4780 498K 0

专利信息

申请日期 2025-06-25 申请号 CN201610177743.5
公开(公告)号 CN105870123B 公开(公告)日 2018-06-29
公开国别 CN 申请人省市代码 全国
申请人 广西大学
简介 一种钨钛酸铋铁电薄膜,该薄膜材料的化学式为Bi4Ti3‑xWxO12,其中0<x≤0.5。其制备方法的工艺路线为:配制前驱液→制备前驱膜→制备铁电薄膜;该方法以水合硝酸铋、钛酸正四丁酯和异丙醇钨为前驱物,以冰乙酸和二乙醇甲醚的混合溶液为溶剂,以乙酰丙酮为稳定剂配制前驱液,经涂覆后高温焙烧制得光滑致密、厚度均匀、光透性好钨钛酸铋薄膜。这种方法具有易于控制材料组分,便于实现规模化生产的优点。该薄膜具有优良的铁电性能,剩余极化强度高,抗疲劳性能好,与稀土元素掺杂的钛酸铋铁电薄膜相比,该薄膜制备过程不添加任何稀土元素,从而降低薄膜的生产成本,在非易失性铁电存储器领域具有广阔的应用前景。


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