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铝合金溅镀靶材 发明申请

2023-10-08 1210 1376K 0

专利信息

申请日期 2025-08-08 申请号 TW106139284
公开(公告)号 TW201821627A 公开(公告)日 2018-06-16
公开国别 TW 申请人省市代码 全国
申请人 日商钢臂功科研股份有限公司
简介 一种铝合金溅镀靶材,其特徵在於:包含合计为0.01原子%~0.04原子%的选自由Ni、Cr、Fe、Co及Cu所组成的群组中的至少一种元素、以及合计为0.01原子%~0.06原子%的选自La以外的稀土元素的至少一种元素,且剩余部分为Al及不可避免的杂质


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