申请日期 | 2025-07-09 | 申请号 | CN202111350335.2 |
公开(公告)号 | CN114231915A | 公开(公告)日 | 2022-03-25 |
公开国别 | CN | 申请人省市代码 | 全国 |
申请人 | 广州市尤特新材料有限公司 | ||
简介 | 本发明公开了一种平板显示器用合金溅射靶材,包括鉬铌、细化晶粒剂、稀土元素改进剂和流动剂;鉬铌、细化晶粒剂、稀土元素改进剂、流动剂的物质质量比为(9‑11):(1‑4):(1.5‑2.5):0.5。本发明合金溅射靶材制备中,采用以鉬铌为主要金属元素制备而成的平板显示器用合金溅射靶材;该靶材具有较高的密度以及延展性,进而保证了靶材中各成分的均匀性、减少靶材中气孔以及微裂纹的产生。 |
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