| 申请日期 | 2025-07-09 | 申请号 | TW110126366 |
| 公开（公告）号 | TWI759234B | 公开（公告）日 | 2022-03-21 |
| 公开国别 | TW | 申请人省市代码 | 全国 |
| 申请人 | 日商信越化学工业股份有限公司 | ||
| 简介 | 一种具有多层结构之喷涂涂层该多层结构包括由含有稀土氧化物之喷涂涂层制成的下层、由含有稀土氟化物及/或稀土氧氟化物之另一喷涂涂层制成之表面层该多层的喷涂涂层具有在23℃之体积电阻率和在200℃之体积电阻率在23℃之该体积电阻率为1×109至1×1012Ω∙且借由在200℃之该体积电阻率对在23℃之该体积电阻率的比率所定义的体积电阻率的温度指数是01至10。 | ||
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