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一种具有电阻开关效应的La、Er、Co、Mn共掺的BFO薄膜及其制备方法 发明申请

2023-07-15 4810 582K 0

专利信息

申请日期 2025-08-18 申请号 CN201811088099.X
公开(公告)号 CN109133668A 公开(公告)日 2019-01-04
公开国别 CN 申请人省市代码 全国
申请人 陕西科技大学
简介 本发明公开一种具有电阻开关效应的La、Er、Co、Mn共掺的BFO薄膜及其制备方法,化学式为Bi0.9‑xLaxEr0.1Fe0.96Co0.02Mn0.02O3,其中,x=0.01‑0.09,其为扭曲的菱方钙钛矿结构,空间群为R3c,且沿着(101)方向的取向生长。本发明采用溶胶凝胶法及层层退火工艺制备得到薄膜,制备方法简单,反应容易进行,工艺过程温度低,制备过程易于控制。本发明A位稀土离子和B位磁性过渡金属离子共掺的BiFeO3薄膜,该薄膜与电极膜界面处形成一个中间过渡层,随着La离子在BiFeO3薄膜中的掺入,使BiFeO3薄膜界面处氧空位种类和数量发生变化,薄膜具有电阻开关效应。


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