| 申请日期 | 2025-07-08 | 申请号 | CN201711086205.6 |
| 公开（公告）号 | CN108070812A | 公开（公告）日 | 2018-05-25 |
| 公开国别 | CN | 申请人省市代码 | 全国 |
| 申请人 | 东京毅力科创株式会社; 福吉米株式会社 | ||
| 简介 | 本发明涉及喷镀用材料和带喷镀膜的构件。提供能够形成耐等离子体侵蚀性进一步提高了的致密的喷镀膜的喷镀用材料。利用本发明公开的技术，制成下述喷镀用材料，其包含稀土元素(RE)、氧(O)和卤素元素(X)作为构成元素，并且包含稀土元素卤氧化物(RE‑O‑X)与稀土元素卤化物(REX3)的混晶。 | ||
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