| 申请日期 | 2026-04-25 | 申请号 | CN201910939492.3 |
| 公开(公告)号 | CN110950660B | 公开(公告)日 | 2022-03-15 |
| 公开国别 | CN | 申请人省市代码 | 全国 |
| 申请人 | 西安工业大学 | ||
| 简介 | 本发明涉及一种提高弛豫铁电薄膜介电和热释电性能的方法。现有铁电薄膜介电和热释电性能不高,通过A/B位掺杂改性的方式提高弛豫铁电薄膜介电和热释电性能。本发明依次包括下述步骤:一、制备PMN‑PT前驱体溶液:二、利用稀土元素制备均匀掺杂稀土元素的PMN‑PT前驱体溶液;三、将掺杂稀土元素PMN‑PT前驱体溶液在Pt/TiO2/SiO2/Si基底上旋涂均匀,薄膜退火结晶得到掺杂稀土元素PMN‑PT薄膜。本发明通过稀土元素掺杂,显著提高驰豫铁电PMN‑PT薄膜介电和热释电性能。 | ||
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