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一种提高弛豫铁电薄膜介电和热释电性能的方法 发明授权

2023-04-11 4920 507K 0

专利信息

申请日期 2026-04-25 申请号 CN201910939492.3
公开(公告)号 CN110950660B 公开(公告)日 2022-03-15
公开国别 CN 申请人省市代码 全国
申请人 西安工业大学
简介 本发明涉及一种提高弛豫铁电薄膜介电和热释电性能的方法。现有铁电薄膜介电和热释电性能不高,通过A/B位掺杂改性的方式提高弛豫铁电薄膜介电和热释电性能。本发明依次包括下述步骤:一、制备PMN‑PT前驱体溶液:二、利用稀土元素制备均匀掺杂稀土元素的PMN‑PT前驱体溶液;三、将掺杂稀土元素PMN‑PT前驱体溶液在Pt/TiO2/SiO2/Si基底上旋涂均匀,薄膜退火结晶得到掺杂稀土元素PMN‑PT薄膜。本发明通过稀土元素掺杂,显著提高驰豫铁电PMN‑PT薄膜介电和热释电性能。


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