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紫外光产生用靶及其制造方法 发明申请

2023-04-28 2290 8841K 0

专利信息

申请日期 2025-06-26 申请号 CN201680033829.9
公开(公告)号 CN107615442A 公开(公告)日 2018-01-19
公开国别 CN 申请人省市代码 全国
申请人 浜松光子学株式会社
简介 本发明的紫外光产生用靶(20A),包括透射紫外光(UV)的蓝宝石基板(21),和与蓝宝石基板(21)相接且含有氧原子与铝原子并透射紫外光(UV)的中间层(22),以及设置在中间层(22)上、包含被添加有活化剂的、含有稀土类的氧化物晶体并接受电子束(EB)而产生紫外光(UV)的发光层(23)。


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