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附皮膜之基材、电浆蚀刻装置用零件及该等之制造方法 发明申请

2023-01-31 4490 13607K 0

专利信息

申请日期 2025-06-25 申请号 TW106107027
公开(公告)号 TW201802265A 公开(公告)日 2018-01-16
公开国别 TW 申请人省市代码 全国
申请人 瑞霸史东工业股份有限公司
简介 本发明所提供的附皮膜之基材,系基材表面上设有耐电浆性高、不易剥落、耐酸性优异、及表面电阻值高之熔射皮膜; 本发明的附皮膜之基材,系於基材表面上具备皮膜者;其中,上述皮膜系厚度10~1000μm,含有稀土族元素(Ln)的氟化物与氧化物作为主成分;上述皮膜表面中,主成分为稀土族元素(Ln)之氧化物、具备单斜晶构造且特定直径的粒子状部分[α]、以及主成分为稀土族元素(Ln)之氟化物、具备斜方晶构造且特定直径的粒子状部分[β],系分散存在於主成分为稀土族元素(Ln)之氟化物的非晶质基质中;又,针对上述皮膜的表面,若使用光学显微镜观察,有确认到白色斑点状部分,该斑点状部分在观察视野内所占面积率低


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