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一种半导体工业用靶材及其制备方法 发明申请

2023-11-20 4770 362K 0

专利信息

申请日期 2026-04-24 申请号 CN202111273585.0
公开(公告)号 CN114150277A 公开(公告)日 2022-03-08
公开国别 CN 申请人省市代码 全国
申请人 广州市尤特新材料有限公司
简介 本发明公开了一种半导体工业用靶材,包括以下重量份原料:锗10‑20份、碲5‑10份、硒4‑10份、改性膨润土分散剂1‑2份、修饰剂1‑6份、稀土剂改性石墨粉1‑3份、硅粉30‑40份。本发明半导体工业用靶材制备中,采用锗、碲、硒等原料配比而成,添加的改性膨润土分散剂、稀土剂改性石墨粉经过修饰剂处理后,作为预处理添加剂应用到产品中可显著改进产品的性能,继而使原料的致密度、收缩度改进。


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