具有用于改善对腐蚀性化学环境的耐受性的稀土(氧)氟化物涂层之器件及用于制造和使用该等器件之方法发明申请

2023-04-17 4120 10211K 0

申请日期	2025-09-15	申请号	TW110119420
公开（公告）号	TW202208383A	公开（公告）日	2022-03-01
公开国别	TW	申请人省市代码	全国
申请人	法商液态空气乔治斯克劳帝方法研究开发股份有限公司
简介	揭露了一类含稀土的化学品。该等含稀土的化学品适合用于顺序气相沈积制程以形成稀土氟化物或稀土氟氧化物膜。此种膜可以用于保护材料及器件免受腐蚀性化学品之腐蚀。

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