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一种具有大范围可调矫顽力纳米厚度稀土‑过渡合金薄膜的制备方法 发明申请

2023-05-13 2100 515K 0

专利信息

申请日期 2025-09-15 申请号 CN201710334494.0
公开(公告)号 CN107190242A 公开(公告)日 2017-09-22
公开国别 CN 申请人省市代码 全国
申请人 华侨大学
简介 本发明公开一种具有大范围可调矫顽力纳米厚度稀土‑过渡合金薄膜的制备方法,将稀土贴片与铁钴合金靶相贴合形成复合镶嵌靶,采用磁控溅射复合镶嵌靶或者三元合金靶的方法,通过简单地控制溅射时间来改变生长薄膜的厚度,实现薄膜特性的连续变化,有效调节制备的稀土‑过渡合金薄膜的磁特性,实现矫顽力的大范围连续变化。该稀土‑过渡合金薄膜的制备方法简单,操作性强,重复性好、成本低廉,可在较大范围内调节薄膜的磁特性及矫顽力,满足不同技术领域的材料需要。


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