| 申请日期 | 2025-06-28 | 申请号 | CN201680004418.7 |
| 公开（公告）号 | CN107109611A | 公开（公告）日 | 2017-08-29 |
| 公开国别 | CN | 申请人省市代码 | 全国 |
| 申请人 | 日本钇股份有限公司 | ||
| 简介 | 本发明的成膜用粉末是含有稀土类元素的氧氟化物Ln‑O‑F的成膜用粉末，其中，粉末的平均粒径D50为0.1μm以上且10μm以下，利用汞压入法测定的直径为10μm以下的细孔的容积为0.1cm3/g以上且0.5cm3/g以下，并且，在粉末的使用Cu‑Kα线或Cu‑Kα1线的X射线衍射测定中，2θ＝20度～40度的范围内观察到的稀土类元素的氧化物LnxOy的最大峰的强度S0与该范围内观察到的稀土类元素的氧氟化物Ln‑O‑F的最大峰强度S1之比S0/S1为1.0以下。 | ||
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