| 申请日期 | 2025-06-27 | 申请号 | CN201580014104.0 |
| 公开（公告）号 | CN106132908B | 公开（公告）日 | 2017-08-25 |
| 公开国别 | CN | 申请人省市代码 | 全国 |
| 申请人 | 日本精细陶瓷有限公司 | ||
| 简介 | 本发明提供一种氮化硅衬底的制造方法，其包括：原料粉末准备步骤，其准备含有硅粉末、稀土元素化合物、及镁化合物的原料粉末，其中，当将原料粉末中的硅换算成氮化硅时，该原料粉末含有以氧化物计1摩尔％以上7摩尔％以下的稀土元素化合物，并含有以氧化物计8摩尔％以上15摩尔％以下的镁化合物；片材成形步骤，其将原料粉末成形为片状而形成片材体；氮化步骤，其在氮气氛中以1200℃以上1500℃以下对片材体进行加热，将包含在片材体中的硅氮化；以及烧结步骤，其在氮气氛下对完成了氮化步骤的片材体进行烧结。 | ||
|
您还没有登录，请登录后查看下载地址
|
客服热线：
手机版
二维码
