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III-V semiconductor device with interfacial layer 发明授权

2023-06-18 2380 1083K 0

专利信息

申请日期 2025-07-12 申请号 US14341629
公开(公告)号 US9691872B2 公开(公告)日 2017-06-27
公开国别 US 申请人省市代码 全国
申请人 IMEC VZW; Katholieke Universiteit Leuven KU LEUVEN R D
简介 A semiconductor structure comprises a substrate including a III-V material, and a high-k interfacial layer overlaying the substrate. The interfacial layer includes a rare earth aluminate. The present disclosure also relates to an n-type FET device comprising the same, and a method for manufacturing the same.


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