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陶瓷结构体、基板保持装置用部件及陶瓷结构体的制法 发明申请

2023-10-24 1120 1110K 0

专利信息

申请日期 2025-06-30 申请号 CN201580037418.2
公开(公告)号 CN106796910A 公开(公告)日 2017-05-31
公开国别 CN 申请人省市代码 全国
申请人 日本碍子株式会社
简介 陶瓷结构体10为在圆盘状的陶瓷基体12的内部内置有电极14的陶瓷结构体。陶瓷基体12是主成分为氧化铝或稀土金属氧化物的烧结体,热膨胀系数在40~1200℃下为7.5~9.5ppm/K。电极14的主成分为金属钌。电极14可以形成为片状,也可以按一笔画的要领以在整个面上扩展的方式形成图案。


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