紫外光产生用靶、电子束激发紫外光源、以及紫外光产生用靶的制造方法发明授权

2023-01-23 2230 2960K 0

申请日期	2025-07-02	申请号	CN201380055517.4
公开（公告）号	CN104755583B	公开（公告）日	2017-05-17
公开国别	CN	申请人省市代码	全国
申请人	浜松光子学株式会社
简介	一种紫外光产生用靶，其具备透射紫外光的基板、和设置在基板上接受电子束而产生紫外光的发光层。发光层包含由添加有活化剂的含有Lu和Si的氧化物多晶构成的多晶膜、或者包含由添加有活化剂的含稀土类的铝石榴石多晶构成的多晶膜。

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