| 申请日期 | 2025-06-26 | 申请号 | CN202121810308.4 |
| 公开（公告）号 | CN215757601U | 公开（公告）日 | 2022-02-08 |
| 公开国别 | CN | 申请人省市代码 | 全国 |
| 申请人 | 江苏迈纳德微纳技术有限公司 | ||
| 简介 | 本实用新型涉及原子层沉积技术领域，提供了一种稀土类氧化物沉积的原子层沉积系统，包括腔体和腔体盖，腔体上设置有进气口和抽气口；所述腔体上分别连接有进气系统和抽气系统；本实用新型克服了现有技术的不足，解决了现有的稀土类氧化物所需的前躯体源饱和蒸汽压非常低，采用直接加热出源的方式会降低管路加热套和ALD阀门的寿命以及增加前躯体源的消耗量的问题；本实用新型采用载气辅助的出源方式，前躯体源的加热温度不用加热那么高，相应的管路和阀门温度也降低，延长管路和阀门的使用寿命；前躯体源的加热温度低，消耗的前躯体源量减少，节约了大量的成本。 | ||
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