| 申请日期 | 2026-04-23 | 申请号 | TW102106728 |
| 公开（公告）号 | TWI570090B | 公开（公告）日 | 2017-02-11 |
| 公开国别 | TW | 申请人省市代码 | 全国 |
| 申请人 | 日本钨合金股份有限公司 | ||
| 简介 | [所欲解决之技术问题]; 本发明之课题在於得到兼具耐腐蚀性(电浆耐性)及机械强度的陶瓷材料; [解决问题之技术手段]; 为具有MgO、YAP(YAlO3)、尖晶石(MgAl2O4)之3相复合陶瓷此复合陶瓷，具有比氧化铝更高，而与MgO相同程度的电浆耐性前述复合陶瓷的硬度或弯曲强度等机械特性，与Al2O3为相同程度或者更优原料价格及制造费用比稀土类氧化物更低进而，藉由添加导电性粒子，可以降低电阻率这些复合陶瓷，特别是於应用在半导体制造装置的构成构件 | ||
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