| 申请日期 | 2025-09-18 | 申请号 | TW103137055 |
| 公开（公告）号 | TWI568000B | 公开（公告）日 | 2017-01-21 |
| 公开国别 | TW | 申请人省市代码 | 全国 |
| 申请人 | 理光股份有限公司 | ||
| 简介 | 一种场效电晶体，包含：一基板；一钝化层；一闸极绝缘层，形成於该基板与该钝化层之间；一源极及一汲极，形成与该闸极绝缘层接触；一半导体层，其至少在该源极及该汲极之间形成，且与该闸极绝缘层、该源极、及该汲极接触；以及一闸极，其与该闸极绝缘层接触，且隔着该闸极绝缘层面对该半导体层，其中该钝化层含有一第一钝化层及一第二钝化层，该第一钝化层含有第一复合金属氧化物，该第一复合金属氧化物含有矽以及硷土金属，该第二钝化层形成与该第一钝化层接触，且含有第二复合金属氧化物，该第二复合金属氧化物含有硷土金属以及稀土元素 | ||
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