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一种用于MCVD的原料气体输送部件与掺杂装置 发明申请

2023-12-01 4110 536K 0

专利信息

申请日期 2025-07-09 申请号 CN201610696838.8
公开(公告)号 CN106336112A 公开(公告)日 2017-01-18
公开国别 CN 申请人省市代码 全国
申请人 长飞光纤光缆股份有限公司
简介 本发明公开了一种用于MCVD的原料气体输送部件,包括设置于金属加热套管管内的原料输送管道,金属加热套管设置于高纯石英玻璃套管管内,原料输送管道中各个气体管道的材料均为耐腐蚀不锈钢材质。本发明将输送所有原料气体的管道置于金属加热套管中同步保温,然后同时输出至反应管中,可精确控制原料气体温度,使原料气体尽早混合均匀,改善气相沉积法制备稀土掺杂预制棒的均匀性;各个气体管道为耐腐蚀不锈钢材质,使得原料输送管道能够耐高温且能承受腐蚀气体的腐蚀性,并且耐腐蚀不锈钢材质延展性好,不像玻璃管道那样易碎;有效改善制备掺稀土光纤预制棒的工艺环境,提高光纤预制棒的性能。本发明还提供了相应的用于MCVD的掺杂装置。


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