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梯度MCrAlX涂层单靶电弧离子镀一步制备方法 发明申请

2023-04-30 2290 668K 0

专利信息

申请日期 2025-06-25 申请号 CN201510323481.4
公开(公告)号 CN106319454A 公开(公告)日 2017-01-11
公开国别 CN 申请人省市代码 全国
申请人 中国科学院金属研究所
简介 本发明涉及梯度MCrAlX涂层单靶电弧离子镀一步制备方法,属于涂层技术领域,可用于制备抗高温氧化和热腐蚀涂层及热障涂层的粘结层等。MCrAlX:M包括但不限于Fe、Co、Ni、Ti、Pt、Zr、W、Nb、B或其组合,X为稀土元素包括但不限于Y、La、Hf、Ce、Gd、Dy或其组合。利用二次溅射现象,通过在镀膜过程中实时调节偏压,可由单一MCrAlX靶,不借助于其他工艺,一步获得铝、铬成分由涂层表面到内部呈梯度变化的梯度MCrAlX涂层。本发明利用了电弧离子镀高离化率及高偏压下涂层反溅射的特点,使得梯度MCrAlX涂层可由单一靶材获得,并且所制备涂层组织致密,工艺稳定性和制备效率高,远优于其他多个工艺组合制备梯度涂层的方法,成本较低,适于工业化应用。


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