| 申请日期 | 2025-06-27 | 申请号 | TW103144908 |
| 公开（公告）号 | TWI559355B | 公开（公告）日 | 2016-11-21 |
| 公开国别 | TW | 申请人省市代码 | 全国 |
| 申请人 | 汉辰科技股份有限公司 | ||
| 简介 | 离子源可具有一蒸发器并使用以下之一或更多方式控制位於蒸发器内材料的温度首先，容器内材料与邻近电弧室之间的距离可调整其次，当一蒸发器内有二或更多容器，这些容器与邻近电弧室之间的距离并不是都相同第三，一加热器及/或一冷却器被用来将热带入或带离蒸发器，即使容器位於蒸发器内第四，一热遮罩设置於蒸发器与邻近电弧室之间以阻挡热辐射因此容器的温度可调整而不再仅由邻近的电弧室决定此外，离子源可具有由稀土元素构成的斥拒极使稀土元素离子可直接在电弧室内产生 | ||
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