| 申请日期 | 2025-07-09 | 申请号 | US15211933 |
| 公开（公告）号 | US20160326060A1 | 公开（公告）日 | 2016-11-10 |
| 公开国别 | US | 申请人省市代码 | 全国 |
| 申请人 | Applied Materials Inc | ||
| 简介 | An article comprises a plasma resistant ceramic material comprising 40 mol % to less than 100 mol % of Y2O3, above 0 mol % to 60 mol % of ZrO2, and above 0 mol % to 5 mol % of Al2O3. | ||
|
您还没有登录，请登录后查看下载地址
|
客服热线：
手机版
二维码
