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一种抗辐射封装加固的CMOS器件及其制备方法 发明申请

2023-11-30 3300 346K 0

专利信息

申请日期 2025-07-18 申请号 CN202111139056.1
公开(公告)号 CN113943531A 公开(公告)日 2022-01-18
公开国别 CN 申请人省市代码 全国
申请人 哈尔滨工业大学
简介 本发明公开了一种抗辐射封装加固的CMOS器件及其制备方法,属于功能材料制备技术领域。本发明解决了现有屏蔽材料无法有效解决CMOS器件受到总剂量效应影响后导致阈值电压的绝对值增大、甚至性能失效等问题。本发明首先将稀土金属氧化物与高Z金属材料进行复合,形成核壳结构,再将复合颗粒与树脂基体复合,涂覆于CMOS器件表面,制备成抗封装加固的辐射防护涂层。本发明制备的核壳结构复合颗粒在树脂基体中分散开后,会在微观结构上形成不同材料多层交替的结构,实现射线在材料中的交替穿透,使材料具备更好辐射屏蔽能力的同时,简化了多层交替材料的制备工艺。


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