| 申请日期 | 2025-07-04 | 申请号 | CN201610581335.6 |
| 公开（公告）号 | CN106011758A | 公开（公告）日 | 2016-10-12 |
| 公开国别 | CN | 申请人省市代码 | 全国 |
| 申请人 | 浙江舒玛新材料有限公司 | ||
| 简介 | 本发明涉及了一种光通信和磁储存镀膜用稀土 过渡金属旋转靶材及其制备方法，采用真空等离子喷涂的方法进行制备，得到的稀土 过渡金属旋转靶材的尺寸不受限制，厚度可达到3～13mm，是大尺寸一体化靶材，克服了绑定拼接靶材容易引起的电弧放电和靶材黑化问题，另外靶材纯度高，克服了传统等离子喷涂工艺制备的靶材纯度低、致密度差、氧、氮含量高等问题。 | ||
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