申请日期 | 2025-06-28 | 申请号 | CN201510061511.9 |
公开(公告)号 | CN105990321A | 公开(公告)日 | 2016-10-05 |
公开国别 | CN | 申请人省市代码 | 全国 |
申请人 | 中国科学院金属研究所 | ||
简介 | 本发明公开了一种基于铁镍多元合金磁芯的微型薄膜电感,属于微电感器件技术领域。该电感包括薄膜磁芯和线圈,所述薄膜磁芯为铁镍多元合金薄膜,其中:所述薄膜磁芯作为线圈的内芯,即线圈螺旋缠绕于薄膜磁芯之外;或者,所述薄膜磁芯作为外芯,即线圈包裹于薄膜磁芯之内。本发明通过调整磁芯材料铁、镍、磷、稀土多元合金的成分与制备工艺,可实现各向异性、矫顽力小、电阻率高、磁感应强度高的性能,从而使电感器的损耗减少、工作频率和品质因子提高,在微电子器件领域有良好的适用性。 |
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