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一种异带泵浦1550nm的光子级联VCSEL激光器及制备方法 发明申请

2023-01-09 4540 388K 0

专利信息

申请日期 2026-04-28 申请号 CN202111194382.2
公开(公告)号 CN113937619A 公开(公告)日 2022-01-14
公开国别 CN 申请人省市代码 全国
申请人 北京工业大学
简介 本发明公开了一种异带泵浦1550nm的光子级联VCSEL激光器及制备方法,衬底上的VCSEL芯片外延结构自衬底侧向上依次包括:N型DBR层、N型全反射DBR层、稀土元素掺杂层、N型波导层、半导体量子阱层、P型波导层、氧化层、P型全反射DBR层和P型DBR层;N型全反射DBR层、N型波导层、半导体量子阱层、P型波导层和P型全反射DBR层构成第一激光谐振腔,N型DBR层、稀土元素掺杂层、氧化层和P型DBR层构成第二激光谐振腔,第一激光谐振腔和第二激光谐振腔形成光子级联复合腔。本发明通过稀土元素掺杂层实现能级跃迁过程中能量的高效利用,提高发光效率,并实现1550nm波长的激光输出。


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